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项目推介 | ‌超快激光双光子微纳加工技术及应用

文章来源: ■澳门十大棋牌排行榜最新■澳门十大棋牌排行榜推荐 工场  |  发布时间:2026-04-23  


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项目介绍

(一)项目简介

超快激光双光子微纳加工技术是一种基于双光子吸收效应的微纳3D打印技术,能够突破传统光刻技术在精度与效率之间的矛盾,实现从纳米到百微米尺度的跨尺度结构制备。该技术无需掩模,具备高精度、真三维、材料适应性广等特点,广泛应用于半导体、科学生命、微机电系统、光学器件、材料工程等领域。团队经过二十余年持续攻关,已实现从基础研究到装备研制的全链条技术突破,具备自主知识产权的无掩模超衍射数字纳米光刻装备,技术指标国际领先。

(二)核心技术

1、双光子聚合(TPP)技术:基于超快激光的双光子吸收效应,实现亚百纳米级分辨率的三维结构加工,突破传统光刻在复杂结构制备中的限制。

2、跨尺度加工能力:可同时实现10 nm至100 μm尺度的结构加工,效率提升可达10^5倍,显著提升微纳制造的综合能力。

3、无掩模超衍射数字光刻:无需掩模,具备低成本、高效率、高灵活性的特点,适用于前沿科学研究与高技术产品研发。

4、装备自主研制:团队自主研发出激光直写、面投影、跨尺度加工等多种微纳加工装备,并面向高校和研究所开放共享。

(三)市场应用前景

1、半导体与微电子:可用于光刻掩模版、达曼光栅、透明网格电极等关键元器件的制备,满足高精度图形化需求。

2、科学生命与医疗:应用于细胞支架、微管打孔、病毒与细胞操控等场景,支撑生物医学研究。

3、微机械与MEMS:实现微致动器、微机器人、多微球捕获等功能结构,有助于微系统集成开展。

4、硬脆材料加工:可在金属、陶瓷等硬脆材料表面制备微结构,拓展其在超疏表面、裂纹控制等方面的应用。

(四)产业化进展

1、装备研发:已成功研发出多代微纳加工装备,具备从原理样机到产业化装备的完整技术链条。

2、技术应用:相关成果已在Nat. Commun.、Nano Lett.、Adv. Funct. Mater.等高水平期刊发表论文140余篇,授权专利13项。

3、行业认可:获“2022年中国光学十大进展”奖、2023-2025年“微纳制造成果优秀奖”等多项荣誉。

4、合作案例:与相关研究所等单位合作,成功开发光纤探针表面等离子共振传感器、微流控芯片等应用产品。

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团队介绍

项目团队长期从事激光微纳加工技术研究,主持多项国家重点研发计划、国家自然科学基金、国际合作项目等。团队具备多学科交叉背景,涵盖光学、材料、机械、电子等方向,形成从基础研究到应用开发的完整技术链条。

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项目优势分析

1、技术领先:双光子微纳加工技术分辨率与跨尺度能力国际领先,拥有自主知识产权,打破国外技术垄断。

2、装备自主:具备从原理到装备的全链条研发能力,可实现高端科学仪器的国产化替代。 应用广泛:覆盖半导体、科学生命、光学、微机电系统等多个高增长领域,具备广阔市场空间。

3、政策契合:面向国家“增材制造与激光制造”重点专项,符合高端科学仪器国产化战略方向。

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合作需求

1、技术转化:寻求技术转让、专利授权、合作开发、技术入股等多种形式的成果转化合作。

2、装备推广:面向高校、科研院所、企业研发组织推广无掩模超衍射数字纳米光刻装备,给予定制化解决方案。

3、产品开发:联合开发双光子3D打印机等终端产品,有助于技术向市场端延伸。

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    (文字: ■澳门十大棋牌排行榜最新■澳门十大棋牌排行榜推荐 工场 产业促进中心    编辑:卢晔    审核:娄雪松

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